掃描電子顯微鏡（是一種常用的高分辨率顯微鏡，通過掃描樣品表面并檢測從樣品表面反射的電子束來獲得圖像。以下是SEM的一些主要參數：

加速電壓：加速電壓是指施加在電子束上的電場力，以加速電子束的能量。它通常以千伏（kV）為單位。較高的加速電壓可以提供更高的穿透力和更大的樣品深度。

分辨率：SEM的分辨率是指其能夠區分兩個相鄰物體或特征的能力。它取決于電子束的聚焦能力和檢測系統的性能。SEM通常具有較高的分辨率，可以觀察到亞微米尺度的細節。

透射電子檢測器：SEM使用透射電子檢測器來檢測從樣品表面散射的次級電子。次級電子的檢測可以提供有關樣品表面拓撲和形貌的信息。

背散射電子檢測器：SEM中的背散射電子檢測器用于檢測從樣品表面背向散射的高能電子。背散射電子的檢測可以提供關于樣品的組成和原子序數的信息。

樣品舞臺：樣品舞臺是放置樣品的平臺，可以控制樣品的位置、旋轉和傾斜。它允許在不同角度和方向下觀察樣品，并進行局部分析。

真空系統：SEM中需要維持高真空環境，以避免電子束與氣體分子相互作用并減少散射。真空系統包括真空室、泵和氣體排放系統。

這些是SEM的一些主要參數，不同型號的SEM可能具有其他參數和功能，以適應不同的應用需求。

ZEM15臺式掃描電子顯微鏡

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