線性壓電納米位移臺ML-37A
線性壓電納米位移臺ML-37A,大行程直線位移臺,不僅擁有緊湊的安裝尺寸,同時還兼具低溫真空等應用環境,是小空間內大行程高精度的定位的優先選擇產品。支持定制納米位移臺。
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壓電驅動納米位移臺,使用壓電陶瓷作為運動促動元件,可以在數百毫米范圍內實現亞納米級別的步長,從而解決了傳統納米臺行程小而微米電動臺分辯精度不高的問題。在科研市場、半導體市場、先進制造業、生物醫藥行業、光學、通信等行業有廣泛應用。
自主研發的壓電驅動納米位移臺,具有運動無需潤滑,真空兼容,可在從液氦溫區(-269攝氏度)至室溫的寬溫區內工作等優點。具有步進和掃描雙工作模式,在宏觀行程范圍內達到亞納米分辨率的定位。
線性壓電納米位移臺ML-37A,不僅擁有緊湊的安裝尺寸,同時還兼具低溫真空等應用環境。是小空間內大行程高精度的定位的優先選擇產品。支持定制納米位移臺。
結構緊湊,高剛性
零間隙,高精度柔性鉸鏈導向系統
室溫到液氦工作溫度,真空兼容
壓電陶瓷促進器具有使用壽命長
帶位移傳感器,提供位置和速度閉環控制
產品應用
電子顯微鏡原位納米探針臺,半導體芯片檢測,光刻機工件臺,微生物操縱手,光纖焊接
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