如何避免樣品在掃描電鏡中受到輻射損傷?
日期:2023-10-10
要避免樣品在掃描電鏡(SEM)中受到輻射損傷,可以采取以下措施:
使用適當(dāng)?shù)墓ぷ骶嚯x:將電子束與樣品之間的工作距離保持在較遠(yuǎn)的范圍內(nèi)。增加工作距離可以減少電子束對(duì)樣品的輻射。
降低電子束電流:減少電子束的電流,以降低能量輸入,從而減少樣品的輻射損傷。
使用低電子束能量:選擇較低的電子束能量,通常在1-5千伏之間,以減少電子束的穿透能力。
使用樣品導(dǎo)電涂層:在非導(dǎo)電樣品上涂覆薄薄的導(dǎo)電涂層,如金屬薄膜,以提高導(dǎo)電性,減少充電效應(yīng)。
控制掃描速度:降低掃描速度可以減少每個(gè)像素點(diǎn)的電子束暴露時(shí)間。
適當(dāng)?shù)睦鋮s:對(duì)于易受熱損傷的樣品,可以考慮在SEM操作期間使用樣品冷卻系統(tǒng),以減小樣品溫度。
限制分析時(shí)間:在分析中盡量減少電子束的暴露時(shí)間,避免過(guò)長(zhǎng)時(shí)間的掃描。
使用低真空模式:在SEM中使用低真空模式可以減少電子束對(duì)樣品的輻射損傷,因?yàn)榈驼婵諚l件下電子與氣體分子相互作用較少。
優(yōu)化SEM參數(shù):根據(jù)具體的樣品和分析需求,優(yōu)化SEM參數(shù),以降低電子束對(duì)樣品的影響。
進(jìn)行先行實(shí)驗(yàn):在正式實(shí)驗(yàn)之前進(jìn)行一些試驗(yàn)性的SEM操作,以確定合適的參數(shù),以減少樣品的損傷。
定期檢查樣品:定期檢查樣品,確保沒(méi)有明顯的損傷或變化。
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作者:澤攸科技