在掃描電鏡（SEM）中，圖像畸變可能會影響圖像的精度和質量。畸變通常表現為圖像中形狀和結構的扭曲，可能會導致誤解樣品的特性。以下是一些避免或減少掃描電鏡圖像畸變的方法：

1. 校準電子束與掃描系統

掃描電鏡的電子束和掃描系統需要準確的校準才能保證圖像的準確性。如果電子束偏離了其理想路徑，或者掃描系統出現問題，就可能導致圖像畸變。

定期校準電子束：確保電子束的聚焦準確，定期檢查掃描系統的校準狀態。任何偏移都會影響圖像的幾何結構，導致畸變。

校準掃描線與點：確保掃描線和像素點的分布均勻，避免掃描過程中出現任何非線性誤差，防止圖像畸變。

2. 避免高角度傾斜

樣品的傾斜角度對掃描電鏡圖像的幾何形狀影響較大。樣品表面如果傾斜過大，可能會導致圖像失真，尤其是在高分辨率成像時。

保持適當的樣品傾斜角度：確保樣品的表面盡可能平行于電子束的掃描平面。盡量避免大角度傾斜，尤其是在高分辨率成像時，角度過大會影響圖像的幾何真實性。

優化樣品的安裝角度：調整樣品的安裝角度，確保電子束能夠正對樣品表面，避免由于掃描角度變化導致的幾何畸變。

3. 優化工作距離

工作距離（WD）是掃描電鏡中的另一個關鍵參數，影響著電子束的聚焦與樣品表面相互作用。工作距離不合適時，可能導致圖像畸變或失真。

保持合適的工作距離：工作距離過短會導致掃描范圍局限，圖像中的幾何形狀可能變得不對稱；而工作距離過長則可能導致聚焦不準，從而影響圖像質量。

選擇合適的掃描區域：根據樣品的形狀與尺寸，選擇合適的掃描區域來避免幾何畸變。

4. 控制樣品表面質量

樣品表面的不均勻性會引起電子束的散射與反射，導致圖像的失真或畸變。例如，表面粗糙、污染或電荷積累都可能影響圖像的質量。

確保樣品表面光滑：在掃描前，確保樣品表面光滑且沒有污染物（如水分、油污等）。表面粗糙會導致電子束的散射，影響圖像的清晰度和準確性。

適當涂覆導電涂層：對于非導電樣品，涂覆均勻的導電層（如金、鉑或碳）可以避免靜電積累，減少表面電荷對圖像畸變的影響。

5. 減小電子束掃描速度

掃描電鏡的掃描速度如果過快，圖像的采集時間較短，可能導致像素間的過渡不連貫，從而影響圖像的準確性，造成畸變。

降低掃描速度：通過減慢掃描速度，增加每個像素的采集時間，可以獲得更加穩定和準確的圖像，減少因掃描速度過快而產生的幾何畸變。

優化掃描時間與分辨率的平衡：根據圖像分辨率的需求調整掃描時間，避免在高分辨率成像下因掃描時間不足而導致圖像畸變。

6. 避免過度曝光

過度曝光會導致掃描電鏡圖像的過度飽和，尤其是在樣品某些高對比度區域，這會導致圖像中的細節丟失和形狀畸變。

控制曝光時間：根據樣品的反射特性控制適當的曝光時間，避免圖像過度曝光或者亮度過高。合理控制曝光時間和信號強度，避免圖像過飽和。

使用適當的增益和對比度設置：根據樣品的性質和圖像質量要求，適當調整增益和對比度設置，防止圖像出現過度曝光或過暗的情況。

7. 控制樣品的電導性

對于非導電樣品，如果不采取適當措施，靜電積累可能導致樣品表面形狀的變化，進而引起圖像畸變。

使用導電涂層：非導電材料的表面需要涂覆一層薄的導電涂層（如金、鉑等），以防靜電積累，從而減少電荷效應導致的圖像畸變。

避免過度涂覆：涂層不應過厚，因為過厚的導電層可能影響樣品的表面特性，導致圖像的形狀失真。

8. 校正畸變

許多掃描電鏡設備帶有內置的畸變校正功能，通過軟件自動修正由于系統問題或樣品形變導致的圖像畸變。

使用設備內建的畸變校正功能：許多現代掃描電鏡配備有自動或手動的畸變校正功能，可以根據系統或樣品的特性自動或手動校正圖像畸變。

調整掃描模式：根據具體樣品和成像需求，可以選擇不同的掃描模式（如點掃描、線掃描或區域掃描）來優化圖像的幾何精度。

9. 避免樣品的過度傾斜

掃描電鏡中，樣品表面傾斜角度過大會導致掃描結果的幾何失真，尤其是當掃描區域較大時。

盡量避免過大的傾斜角度：在掃描過程中，盡量保證樣品表面與電子束平行，避免由于角度問題引起的幾何畸變。

10. 選擇適當的加速電壓

加速電壓決定了電子束的能量，影響電子束與樣品相互作用的深度與方式。過高或過低的加速電壓都可能導致圖像畸變。

調整加速電壓：根據樣品類型和所需的分辨率，選擇合適的加速電壓。較高的加速電壓通常適用于較大尺寸的樣品，可以減少圖像畸變；而較低的加速電壓適用于較小的樣品，能夠減少表面損傷。

以上就是澤攸科技小編分享的如何避免掃描電鏡圖像中的畸變。更多掃描電鏡產品及價格請咨詢15756003283(微信同號)。