掃描電鏡（SEM）中的電子探針和能量色散分析（EDS）是用于獲取材料樣品化學(xué)成分和表面拓?fù)湫畔⒌闹匾夹g(shù)。以下是它們的工作原理和應(yīng)用：

電子探針（Electron Probe）： 電子探針是掃描電鏡中的一種技術(shù)，通過(guò)聚焦電子束在樣品表面產(chǎn)生的相互作用來(lái)獲取有關(guān)樣品的信息。這些相互作用包括以下幾個(gè)方面：

二次電子發(fā)射（Secondary Electron Emission）： 當(dāng)高能電子束擊中樣品表面時(shí)，會(huì)產(chǎn)生二次電子發(fā)射。這些二次電子可以用于生成高分辨率的表面拓?fù)鋱D像。

散射電子（Backscattered Electrons）： 部分電子束被樣品的原子核散射回來(lái)，形成散射電子圖像。散射電子圖像提供了樣品的組成信息，通常與樣品中的原子數(shù)量成正比。

X射線發(fā)射（X-ray Emission）： 電子束與樣品相互作用時(shí)，激發(fā)了內(nèi)部原子的電子，導(dǎo)致它們跳躍到更高能級(jí)，然后回到基態(tài)時(shí)發(fā)射X射線。這些X射線具有特定的能量，可以用于識(shí)別樣品中的元素。

能量色散分析（EDS）： 能量色散分析是一種用于確定樣品化學(xué)成分的技術(shù)，它通常與掃描電鏡一起使用。它的工作原理如下：

X射線檢測(cè)： 當(dāng)電子束與樣品相互作用并激發(fā)內(nèi)部原子時(shí)，樣品會(huì)發(fā)射X射線。這些X射線具有不同的能量，與被激發(fā)的元素有關(guān)。

X射線能量分析： EDS系統(tǒng)使用能量分散儀來(lái)測(cè)量X射線的能量。不同元素的X射線具有不同的能量特征，因此可以根據(jù)X射線的能譜確定樣品中的元素。

定量分析： 通過(guò)比較測(cè)得的X射線能譜與已知元素的標(biāo)準(zhǔn)庫(kù)，可以定量分析樣品中的元素含量。這可以用來(lái)確定元素的百分比和相對(duì)濃度。

ZEM18臺(tái)式掃描電鏡

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