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掃描電鏡中的電子與樣品交互如何產生圖像

日期:2023-09-18

在掃描電鏡中,圖像是通過電子束與樣品交互并產生的。以下是SEM圖像生成的基本過程:

電子源產生電子束: SEM中通常使用熱陰極或場發射電子源產生高能電子束。這些電子束具有高能量,通常在幾千至數十千電子伏特(keV)之間。

電子束聚焦: 電子束經過一系列電磁透鏡,如透鏡和聚焦透鏡,以將電子束聚焦成一個細小的束斑。這個聚焦過程類似于光學顯微鏡中的物鏡。

電子束照射樣品: 聚焦后的電子束被照射到待觀察的樣品表面上。樣品通常需要導電性,因為電子束的照射會導致樣品電荷積累。

電子-樣品相互作用: 電子束與樣品表面上的原子和電子相互作用。這包括電子的散射、散射電子的產生、透射電子、激發和發射等。主要的相互作用包括:

散射: 部分電子會被散射回到探測器,產生圖像的信號。

透射: 一些電子會穿透樣品,這種電子不會產生圖像信號。

二次電子發射: 部分電子會在與樣品表面相互作用后被發射出來,這些電子用于生成表面形貌圖像。

后向散射電子: 一些電子會朝著電子束的方向后向散射,這些電子通常用于成分分析。

信號檢測和處理: 從電子-樣品相互作用中產生的信號,如散射電子或二次電子,被探測器捕獲。捕獲的信號被轉換為電子信號,并經過放大和處理。

圖像形成: 處理后的信號用于形成圖像。對不同的信號進行處理和顯示,可以獲得不同類型的SEM圖像,如表面形貌圖像、成分分析圖像等。

ZEM18臺式掃描電鏡

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作者:澤攸科技