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掃描電鏡的分辨率有多高?

日期:2023-09-14

掃描電鏡的分辨率非常高,通常能夠實現亞納米級別的分辨率。分辨率是指顯微鏡能夠分辨并顯示兩個鄰近對象或特征之間的距離。

掃描電鏡的分辨率受到多種因素的影響,包括電子束的能量、樣品的性質以及儀器的設計和性能。通常,掃描電鏡的分辨率在0.5納米(0.5 nm)到5納米(5 nm)之間,具體數值取決于特定儀器的規格。一些掃描電鏡甚至可以達到更高的分辨率。

以下是影響SEM分辨率的主要因素:

電子束能量: 較高能量的電子束通常具有更短的波長,因此具有更高的分辨率。然而,電子束能量也會影響樣品的表面相互作用和成像深度。

透鏡和檢測器設計: SEM使用一系列電子透鏡和檢測器來聚焦和收集電子信號。儀器的設計和性能會影響分辨率。

樣品準備: 樣品的表面準備和涂覆可能會影響SEM圖像的質量和分辨率。

工作模式: SEM可以在不同的成像模式下操作,包括二次電子成像(SEI)和反射電子成像(BEI)。不同模式下的分辨率可能有所不同。

ZEM18臺式掃描電鏡

ZEM18臺式掃描電鏡

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作者:澤攸科技