臺式掃描電鏡如何進行樣品對比度增強?
日期:2023-09-11
要在臺式掃描電鏡(SEM)中增強樣品的對比度,可以采取以下一些常見的方法和技巧:
調整電子束參數: SEM中的電子束參數可以調整,包括電子束的加速電壓(加速電子的能量)和電流。增加加速電壓通常會提高對比度,但需要小心以避免對樣品造成損傷。適當選擇電子束電壓和電流以獲得高對比度。
選擇檢測模式: SEM通常有不同的檢測模式,如二次電子檢測(SE)和反向散射電子檢測(BSE)。二次電子檢測通常提供較高的表面拓撲對比度,而反向散射電子檢測可以提供樣品的化學元素對比度。選擇適當的檢測模式以滿足您的觀察需求。
調整工作距離: 工作距離是樣品表面到電子槍的距離。調整工作距離可以影響到電子束的聚焦,從而影響對比度。適當調整工作距離以獲得高對比度。
樣品準備: 樣品的表面狀態和準備對對比度至關重要。確保樣品表面光滑、干凈,并適當地涂覆或鍍覆以增強導電性。一些樣品可能需要金屬鍍膜以提高對比度。
選擇合適的探針電流: 控制探針電流可以影響到圖像的對比度。較高的探針電流通常會提供更好的對比度,但需要小心以避免樣品損傷。
圖像后處理: 在獲取圖像后,可以使用圖像處理軟件來進一步增強對比度。這包括調整亮度、對比度、伽馬校正等參數,以及應用濾波器和增強算法。
使用適當的傾斜角度: 在某些情況下,通過改變SEM樣品臺的傾斜角度,可以提供更好的對比度,特別是在觀察表面特征時。
利用多種檢測模式: 在某些情況下,使用多個檢測模式并合成圖像(例如,SE圖像和BSE圖像),可以提供更豐富的信息和對比度。
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作者:澤攸科技
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