在掃描電鏡（SEM）中，樣品表面電荷積累是一個常見的問題，它可能導致圖像質量下降，特別是在非導電或絕緣性材料上。為了預防或減輕樣品表面電荷積累，可以采取以下措施：

樣品導電性處理： 對于非導電或絕緣性材料，可以通過將其表面鍍上一薄層導電性材料，如金屬（金、鉑、銀）或碳，來提高導電性。這有助于電子束的導電，并減少電荷積累。

使用導電樣品支撐： 在SEM分析過程中，您可以將樣品放在導電支撐物上，如導電碳帶或導電碳雙面膠。這些支撐物可以幫助樣品導電，同時也有助于穩定樣品的位置。

減小束流強度： 降低電子束的強度可以減少樣品表面電荷的積累。在SEM儀器上調整束流強度，以確保不會在樣品表面產生過多的電荷。

使用低加速電壓： 降低電子束的加速電壓可以減小電子束的穿透深度，從而降低電荷積累的風險。這可能會導致圖像分辨率降低，所以需要權衡。

電子束掃描模式： 選擇適當的電子束掃描模式，如低電流、線性模式，以減少電荷積累的速度。

使用防電荷涂層： 一些SEM儀器提供了防電荷涂層的選項，這些涂層可以降低電荷積累的風險。這些涂層在樣品上形成一個導電性薄層。

樣品旋轉： 定期旋轉樣品，以改變電荷積累的位置。這可以幫助均勻分散電荷。

避免長時間曝曬： 盡量減少樣品長時間暴露在電子束下。在不需要時，關閉電子束。

在真空下存儲樣品： 如果可能，將樣品存儲在SEM樣品室的真空環境中，以減少吸附在樣品表面的氣體分子。

樣品前處理： 在分析之前，進行樣品的適當前處理，如金屬鍍層、碳鍍層或樣品表面的清潔，以減少電荷積累。

ZEM15臺式掃描電鏡能譜一體機

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