掃描電鏡如何選擇合適的探測(cè)器?
日期:2023-07-07
選擇合適的探測(cè)器應(yīng)根據(jù)實(shí)際應(yīng)用和需求進(jìn)行評(píng)估。以下是一些考慮因素:
樣品類型:考慮樣品的導(dǎo)電性、表面特征和組成。如果樣品是非導(dǎo)電的,BSE或SE可能更適合,而對(duì)于導(dǎo)電樣品,BSE、SE或STEM都可選擇。
分辨率和細(xì)節(jié)需求:如果需要高分辨率的表面形貌信息,SE或STEM可能是更好的選擇。如果需要了解樣品的組成和原子級(jí)結(jié)構(gòu),則需要STEM和EDS。
信號(hào)強(qiáng)度和對(duì)比度:如果需要較高的信號(hào)強(qiáng)度和對(duì)比度,BSE可能是更好的選擇。
系統(tǒng)配置和預(yù)算:不同探測(cè)器的配置和成本不同。需根據(jù)實(shí)際情況和預(yù)算選擇合適的探測(cè)器。
建議在選擇探測(cè)器時(shí)參考SEM制造商的技術(shù)規(guī)格和應(yīng)用指南,以了解各種探測(cè)器的性能和適用范圍,并與應(yīng)用需求相匹配。
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作者:澤攸科技