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掃描電鏡的探測(cè)器類型和性能有哪些?

日期:2023-07-07

掃描電子顯微鏡(SEM)使用不同類型的探測(cè)器來(lái)測(cè)量和探測(cè)樣品表面產(chǎn)生的信號(hào)。每種探測(cè)器具有不同的性能特點(diǎn),適用于不同的應(yīng)用和需求。以下是一些常見(jiàn)的SEM探測(cè)器類型和性能特點(diǎn):

后向散射電子探測(cè)器(BSE):

特點(diǎn):測(cè)量和檢測(cè)從樣品表面散射的高能電子。BSE信號(hào)與樣品的原子序數(shù)有關(guān),可提供對(duì)樣品組成和形貌的信息。

優(yōu)點(diǎn):較高的信號(hào)強(qiáng)度,對(duì)不導(dǎo)電樣品有較好的靈敏度,可提供高對(duì)比度的圖像。

限制:BSE信號(hào)與表面拓?fù)潢P(guān)系密切相關(guān),可能受到拓?fù)湫?yīng)的影響。

后向散射探測(cè)器(BSE2):

特點(diǎn):類似于BSE,但BSE2探測(cè)器使用多個(gè)探測(cè)器接收不同能量范圍的BSE信號(hào),提供更豐富的信號(hào)信息。

優(yōu)點(diǎn):提供更廣泛的信號(hào)能量范圍,可用于增強(qiáng)對(duì)比度和分析樣品成分。

二次電子探測(cè)器(SE):

特點(diǎn):測(cè)量和檢測(cè)從樣品表面發(fā)射的次級(jí)電子。SE信號(hào)與樣品的表面拓?fù)浜蛯?dǎo)電性有關(guān),可提供表面形貌和細(xì)節(jié)信息。

優(yōu)點(diǎn):高分辨率的表面拓?fù)湫畔ⅲ瑢?duì)導(dǎo)電和非導(dǎo)電樣品均可使用。

限制:信號(hào)強(qiáng)度較低,不適用于化學(xué)成分分析。

透射電子探測(cè)器(STEM):

特點(diǎn):透射電子探測(cè)器用于透射電子顯微鏡(TEM),可測(cè)量和檢測(cè)從樣品透射的電子。STEM信號(hào)可提供樣品的原子尺度結(jié)構(gòu)和成分信息。

優(yōu)點(diǎn):高分辨率的原子級(jí)成像和分析,能夠獲得元素的能量色散譜(EDS)。

ZEM18臺(tái)式掃描電鏡

ZEM18臺(tái)式掃描電鏡

以上就是澤攸科技小編分享的掃描電鏡的探測(cè)器類型和性能。更多掃描電鏡產(chǎn)品及價(jià)格請(qǐng)咨詢15756003283(微信同號(hào))。

掃描電鏡產(chǎn)品聯(lián)系方式


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作者:澤攸科技