掃描電鏡的使用方法及注意事項
日期:2023-04-06
掃描電鏡(SEM)是一種高分辨率的顯微鏡,可以用于對固體、液體等樣品進行觀察和分析。下面是SEM的使用方法:
樣品制備:對于固體樣品,通常需要將其表面處理,例如去除表面污染、涂覆導電膜等。對于液體樣品,需要將其固化或冷凍處理,并放置在導電性好的載體上。
裝載樣品:將樣品裝載到SEM的樣品臺上,并使用夾具或粘貼劑固定樣品。
調節SEM參數:根據樣品特性,調節SEM的加速電壓、電子束聚焦、信號檢測參數等。
開始觀察:使用SEM的操縱臺,將電子束掃描到樣品表面,并觀察樣品的顯微圖像。可以使用不同的檢測模式,例如反射電子顯微鏡(Backscattered Electron,BSE)和二次電子顯微鏡(Secondary Electron,SE)等。
分析樣品:通過SEM觀察和分析樣品的形貌、結構和成分等信息。可以使用不同的分析技術,例如能譜分析(Energy-dispersive X-ray spectroscopy,EDS)和電子背散射衍射(Electron Backscatter Diffraction,EBSD)等。
保存數據:將觀察和分析得到的數據保存到計算機或其他儲存介質中,并進行數據處理和分析。
注意事項:
SEM使用過程中需要保持樣品和SEM的干燥和真空環境,以避免樣品受潮或SEM受污染。
SEM操作需要進行培訓和授權,遵守SEM使用安全規范。
在操作SEM過程中,需要避免對SEM設備和樣品造成損壞。
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作者:澤攸科技
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