掃描電鏡是一種常用的材料表征儀器，其主要功能是通過(guò)掃描樣品表面，獲取高分辨率的表面形貌和成分信息。掃描電鏡的重要參數(shù)包括：

分辨率：是指掃描電鏡成像的最小分辨距離，通常分辨率越高，掃描電鏡成像的細(xì)節(jié)越清晰。掃描電鏡分辨率通常可達(dá)到亞納米級(jí)別。

放大倍數(shù)：是指掃描電鏡成像時(shí)，樣品圖像與實(shí)際樣品尺寸之間的比例。放大倍數(shù)越大，觀察到的樣品細(xì)節(jié)越細(xì)致，通常可以達(dá)到數(shù)十萬(wàn)至數(shù)百萬(wàn)倍的放大倍數(shù)。

加速電壓：是指掃描電鏡中電子束加速的電壓，它會(huì)影響掃描電鏡成像的深度、分辨率和亮度等性能。加速電壓越高，成像深度越淺，但是分辨率越高，亮度也越高。一般掃描電鏡的加速電壓范圍在幾百伏至數(shù)十千伏之間。

探針電流：是指掃描電鏡中聚焦電子束的電流強(qiáng)度。探針電流的大小與掃描電鏡成像的深度和分辨率有關(guān)。通常情況下，探針電流的值會(huì)影響掃描電鏡成像的信噪比和灰度等性能。

工作距離：是指掃描電鏡中探針與樣品表面之間的距離。工作距離的大小與成像深度、聚焦情況和探針電流等參數(shù)有關(guān)。

除此之外，掃描電鏡還有一些其他的參數(shù)，如掃描方式、探針尺寸、光學(xué)系統(tǒng)等，這些參數(shù)也會(huì)影響到掃描電鏡的成像性能和實(shí)驗(yàn)效果。在使用掃描電鏡時(shí)，需要根據(jù)實(shí)際需求選擇適當(dāng)?shù)膮?shù)，以達(dá)到高質(zhì)量的成像效果。

ZEM15臺(tái)式掃描電子顯微鏡

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