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納米探針臺廠家-掃描電鏡原位樣品臺價格

日期:2022-05-17

PicoFemto系列掃描電子顯微鏡納米探針臺實現了三維空間上的準確定位,具有小尺寸大行程、高定位精度、操作簡單、能在真空下使用等優點,使用于在SEM真空腔體內完成各種納米精度運動操作及物性測量。

PicoFemto 系列掃描電子顯微鏡 納米探針臺 基于壓電陶瓷驅動技術,運動無需潤滑,兼容掃描電鏡真空環境,并可在多種溫度范圍內工作;步進和掃描雙模式工作,在宏觀行程范圍內達到亞納米分辨率的定位。

納米探針臺.png

三軸探針臺由XYZ三個單軸運動臺組合而成。一個SEM腔體內可安裝多個三軸探針臺。平臺上可安裝電學探針、光纖探針、納米鑷子、金剛石納米力壓頭、顯微注射器等各類操縱和測量頭,實現微納操縱和測量的目的。


納米探針臺-技術指標(單個三軸探針臺)


運動指標尺寸參數
1. X軸移動行程:±10mm;

1. 長/寬/高: 48.6mm/33.2mm/43.6mm

2. Y軸移動行程:±10mm;
2. 重量:225g
3. Z軸移動行程:±10mm;

4. 運動速度:0-3mm/s;
5. 細調分辨率:0.5nm


納米探針臺-產品選型

澤攸科技提供適配Thermofisher/FEI、JEOL、ZEISS、Tescan及ZEPTOOLS等多種掃描電子顯微鏡型號的納米探針,支持定制。


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納米探針臺





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作者:澤攸科技