在掃描電鏡（SEM）中，樣品臺的傾斜角度對圖像的質量、分辨率和分析結果具有顯著影響。了解傾斜角度的作用有助于優化成像效果并提高分析精度。以下是樣品臺傾斜角度影響的主要方面：

1. 對表面形貌觀察的影響

增強表面特征對比：

傾斜樣品可以增加高低起伏區域的陰影效果，從而提高表面形貌的對比度，使細小結構更清晰。

減少“頂部俯視”效果：

樣品傾斜可以避免從垂直方向觀察到的扁平化效果，提供更具立體感的視圖。

2. 對分辨率的影響

高分辨率成像的限制：

樣品傾斜后，電子束的實際工作距離（Working Distance, WD）增加，導致成像分辨率降低，特別是在高倍觀察時。

視場深度的變化：

傾斜角度會改變視場的深度范圍，可能導致部分區域超出焦深范圍，產生模糊圖像。

3. 對元素分析的影響

能譜分析（EDS）：

樣品傾斜角度影響 X 射線的出射路徑和探測器的接受角：傾斜到 70° 左右：

是標準 EDS 分析角度，能夠最大化 X 射線信號，提高分析靈敏度。

過小或過大傾斜角：

會導致部分 X 射線被樣品遮擋，減少信號強度。

避免偽影：

傾斜樣品可減少因表面粗糙度引起的局部 X 射線信號異常，獲得更均勻的分析結果。

4. 對電子束散射的影響

二次電子（SE）信號：

傾斜樣品會改變二次電子的發射角度，從而影響圖像的對比度和細節：小角度傾斜：有助于突出表面結構。

大角度傾斜：可能造成信號減弱或熱點。

背散射電子（BSE）信號：

傾斜角度會導致 BSE 信號的非均勻分布，可能影響樣品成分或形貌對比。

5. 對電荷積累的影響

降低充電效應：

對絕緣樣品，通過傾斜增加與接地連接部分的表面積，可以減少充電效應導致的圖像漂移或失真。

6. 對納米尺度結構的影響

觀察側面特征：

對于具有復雜三維結構或側壁特征的樣品，傾斜是觀察特定角度或細節的必要手段。

失真問題：

傾斜會引起圖像的幾何失真，特別是在二維測量時需要進行校正。

7. 對樣品損傷的影響

減少輻照損傷：

傾斜樣品可以分散電子束在樣品表面的作用，減少局部過熱或輻照損傷。

避免邊緣效應：

傾斜角度過大會使樣品的邊緣暴露過多，導致局部信號增強甚至損傷。

8. 應用示例

斷面觀察：

對橫截面的樣品，傾斜到 90° 可以直接觀察斷面的微觀結構。

顆粒分析：

傾斜角度用于確定顆粒的三維形態和位置關系。

厚樣品：

對較厚樣品，傾斜可以優化觀察區域并減少背散射偽影。

9. 操作建議

適度傾斜：

通常將樣品傾斜 10°~30° 用于一般形貌觀察，但需根據應用調整。

角度優化：

對 EDS 分析傾斜到 70°；對復雜三維結構傾斜到成像角。

避免過度傾斜：

過大的傾斜角會導致信號失真、焦深超出范圍或樣品碰撞探針。

以上就是澤攸科技小編分享的掃描電鏡樣品臺的傾斜角度如何影響觀察。更多掃描電鏡產品及價格請咨詢15756003283(微信同號)。