掃描電鏡圖像過暗或過亮的調整方法
日期:2024-11-29
掃描電鏡(SEM)圖像過暗或過亮通常與圖像的曝光、增益設置、探測器選擇以及樣品表面特性有關。以下是一些調整方法:
1. 調整電子束曝光時間
過暗:增加曝光時間,使電子束與樣品的相互作用時間更長,從而提高圖像亮度。
過亮:減少曝光時間,以避免過多的電子被樣品吸收,導致圖像過亮或飽和。
2. 調整增益/亮度/對比度設置
過暗:增大增益值(或亮度設置),以提高信號強度。
過亮:減少增益,降低信號強度,避免圖像過曝。
3. 調整探測器靈敏度
過暗:選擇更靈敏的探測器(如 secondary electron detector)或者提高探測器的增益設置。
過亮:調低探測器的增益,或者切換到不同類型的探測器,如 backscattered electron detector (BSE),它通常可以提供更均衡的亮度。
4. 優化樣品表面
過暗:樣品表面可能過于粗糙或不導電,導致電子散射過多。確保樣品表面涂覆一層導電材料(如金、鉑等),以提高信號的反射。
過亮:樣品表面可能太光滑或存在過度導電材料。嘗試調整樣品涂層厚度。
5. 調整工作距離(WD)
過暗:減小工作距離可以增加信號的強度。
過亮:增加工作距離,減少電子束的散射。
6. 調節加速電壓(HV)
過暗:提高加速電壓可以增加電子束的穿透力,從而提高圖像亮度,尤其是在觀察較深的樣品時。
過亮:降低加速電壓,減少電子束的穿透力。
7. 后處理圖像
在導出圖像之前,使用軟件(如 Igor Pro、ImageJ 等)進行圖像增強、調整亮度、對比度和伽馬值等,以進一步改善圖像質量。
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作者:澤攸科技