樣品需要根據(jù)掃描電子顯微鏡（SEM）的物理空間和操作要求進(jìn)行處理，具體尺寸取決于 SEM 樣品腔室和樣品臺(tái)的規(guī)格。以下是處理樣品尺寸時(shí)的一些通用注意事項(xiàng)：

1. 樣品的物理尺寸

最大直徑/尺寸：

SEM 的樣品臺(tái)通常有直徑和高度限制，具體取決于設(shè)備型號(hào)：小型臺(tái)式 SEM：樣品直徑通常不超過(guò) 10–50 mm。

大型場(chǎng)發(fā)射 SEM：樣品直徑可達(dá) 100–200 mm，但較少用滿這個(gè)尺寸。

高度限制：樣品高度通常限制在 10–20 mm 內(nèi)，過(guò)高會(huì)導(dǎo)致樣品無(wú)法轉(zhuǎn)動(dòng)或調(diào)節(jié)工作距離。

如何確定尺寸？

查看設(shè)備的規(guī)格文檔，查找 樣品室尺寸、樣品臺(tái)負(fù)載限制和最大樣品尺寸。

通常會(huì)提到 工作距離（Working Distance，WD） 的調(diào)節(jié)范圍，需要保證樣品不會(huì)碰到電子槍或其他部件。

2. 樣品的表面平整度

表面要求：樣品的表面盡量保持平整，這樣可以避免因傾斜導(dǎo)致的圖像失真。

如果樣品較大，可以切割或打磨成小塊。

3. 樣品安裝方式

樣品通常需要固定在 樣品托盤(pán) 或 樣品夾 上，因此樣品尺寸應(yīng)與托盤(pán)匹配。常見(jiàn)樣品托盤(pán)的規(guī)格：圓形托盤(pán)：直徑通常為 25 mm 或 32 mm。

多孔樣品臺(tái)：可以固定多個(gè)直徑較小（如 10 mm）的樣品。

定制夾具：對(duì)于不規(guī)則或薄片樣品，可以使用導(dǎo)電膠、銅箔或夾具固定。

4. 樣品的制備工藝

根據(jù) SEM 對(duì)樣品的要求，處理樣品時(shí)還需要考慮以下問(wèn)題：

厚度：

樣品厚度應(yīng)盡量小以減少信號(hào)吸收，通常控制在 5–10 mm 以下。對(duì)于薄片樣品，厚度可以在 1 mm 左右。

切割和拋光：

使用切割工具（如金剛石鋸片）切割樣品，使其達(dá)到所需尺寸。對(duì)于材料科學(xué)樣品，可以進(jìn)行機(jī)械拋光或電解拋光。

5. 樣品的特殊尺寸需求

傾斜觀察時(shí)的調(diào)整：

如果需要傾斜觀察（如 70° 角用于 EBSD 分析），樣品的尺寸應(yīng)考慮到傾斜后不會(huì)碰到設(shè)備的頂部或側(cè)壁。

橫截面觀察：

如果需要觀察樣品的橫截面，可以提前制備橫截面小塊或通過(guò)斷裂/切割得到。

6. 特殊樣品的處理

粉末樣品：使用導(dǎo)電膠固定在樣品臺(tái)上，形成薄層。

生物樣品：通常需要脫水、固定和金屬鍍膜（如 Au 或 Pt 鍍膜），處理后尺寸控制在標(biāo)準(zhǔn)樣品臺(tái)范圍內(nèi)。

非導(dǎo)電樣品：可能需要導(dǎo)電涂層處理，涂層厚度通常在 5–20 nm，不顯著改變樣品尺寸。

以上就是澤攸科技小編分享的樣品需要處理到什么尺寸才能放入掃描電鏡。更多掃描電鏡產(chǎn)品及價(jià)格請(qǐng)咨詢15756003283(微信同號(hào))。