掃描電鏡（SEM）圖像失真可能由于電子光學系統、樣品、環境因素或用戶操作引起。為校正圖像失真，需要根據失真類型找出原因并采取針對性措施。以下是常見的失真類型、原因及解決方法：

1. 常見圖像失真類型及原因

（1）幾何失真

表現： 圖像中直線或形狀變形（如拉伸、壓縮、旋轉）。

原因：不正確的掃描倍率或工作距離。

樣品傾斜角度過大。

不平衡的電磁透鏡。

（2）漂移失真

表現： 圖像隨時間變化出現拉伸或偏移，細節模糊。

原因：樣品未完全穩定（如因機械振動或熱膨脹）。

高真空條件不良。

電子束加熱導致樣品熱漂移。

（3）電磁干擾

表現： 圖像中出現周期性條紋或波紋。

原因：外部電磁干擾（如鄰近設備、電力線）。

磁性樣品未正確去磁。

（4）充電效應

表現： 圖像中出現亮點或條紋，嚴重時細節模糊。

原因：非導電樣品積累電荷。

2. 校正圖像失真的方法

（1）調整儀器參數

工作距離（WD）：

確保樣品表面在電子束焦點處。

根據需求縮短或延長工作距離（通常 5-15 mm）。

電子束校準：

定期校準電子束，確保光軸與樣品表面對齊。

在SEM菜單中選擇 Beam Alignment 工具，根據引導進行操作。

校準掃描倍率：

使用標準樣品（如金屬網格或微納標尺）校準放大倍率和比例尺。

降低電子束電壓和電流：

適當降低電壓（如 1-5 kV）或束流強度，減少樣品漂移或熱效應。

（2）優化樣品制備

涂覆導電膜：

對非導電樣品（如聚合物、生物材料）涂覆薄層導電膜（如金或碳），減少充電效應。

控制樣品厚度：

對薄樣品或層狀材料，確保樣品均勻并緊密固定在樣品臺上。

樣品去磁：

對磁性材料，使用去磁設備消除殘余磁性。

（3）改善實驗環境

隔離電磁干擾：

關閉鄰近設備（如變壓器、電機）或遠離強電磁場區域。

使用電磁屏蔽設備保護SEM。

穩定實驗室環境：

減少震動：將SEM放置在防震臺或減震地板上。

控溫控濕：將實驗室溫度和濕度保持穩定，避免熱膨脹引起的漂移。

（4）軟件校正

幾何校正：

使用SEM軟件中的 Distortion Correction 工具，對圖像拉伸、旋轉或扭曲進行矯正。

實時漂移校正：

開啟漂移校正功能，部分SEM配備自動校正模塊。

后處理校正：

對已采集圖像，使用圖像處理軟件（如 ImageJ 或 Photoshop）校正失真。

（5）檢查設備狀態

電子光學系統：定期維護SEM的電磁透鏡和掃描線圈，確保設備精度。

真空系統：檢查真空泵及密封性，確保腔室真空度達標。

硬件組件：確保樣品臺運行平穩，樣品固定牢靠。

3. 校正流程示例

漂移失真校正：

等待樣品溫度與腔室平衡。

降低束流強度和加速電壓。

縮短掃描時間或使用快速掃描模式（降低單次掃描時間）。

實時調整焦距和倍率，觀察漂移是否減弱。

幾何失真校正：

使用標準樣品（如網格）進行倍率校準。

調整工作距離和樣品臺角度，確保樣品與光軸垂直。

在軟件中修正比例尺和圖像形變。

充電效應校正：

涂覆導電膜或增加樣品導電性。

使用低真空模式或環境掃描電鏡（ESEM）。

降低電子束電壓至 <5 kV。

4. 預防圖像失真的建議

定期校準SEM設備，尤其是電子束、掃描系統和樣品臺。

按需優化實驗參數，避免使用過高的加速電壓或束流強度。

對非導電樣品進行適當的導電處理，并在采集前消除機械振動和環境干擾。

以上就是澤攸科技小編分享的如何校正掃描電鏡的圖像失真。更多掃描電鏡產品及價格請咨詢15756003283(微信同號)。