掃描電子顯微鏡（SEM）本身主要用于表面形貌的高分辨成像，但它可以結合其他分析技術來進行成分分析。具體來說，SEM常與以下技術結合使用來測量樣品成分：

1. 能量色散X射線光譜（EDS或EDX）

原理：當電子束轟擊樣品時，會激發樣品中的原子并發射出特征X射線。每種元素發射的特征X射線具有特定的能量，這些能量可以被檢測并用來確定樣品中的元素組成。

用途：EDS可以定性和定量分析樣品中的元素，通常用于檢測從硼（原子序數5）到鈾（原子序數92）之間的元素。

操作：將樣品放置在SEM中，并使用電子束掃描表面。

檢測和分析從樣品發射的特征X射線，得到元素組成信息。

2. 波長色散X射線光譜（WDS）

原理：類似于EDS，但使用晶體光譜儀分離和檢測特征X射線的波長，從而提供更高的能量分辨率和靈敏度。

用途：WDS用于更準確的元素分析，特別是對輕元素和相近元素的區分。

操作：在SEM中結合WDS檢測器，進行元素分析。

3. 電子背散射衍射（EBSD）

原理：電子束與樣品表面相互作用產生背散射電子，這些電子在晶體結構中衍射形成特征花樣。通過分析這些花樣，可以確定樣品的晶體結構、取向和相組成。

用途：雖然EBSD主要用于晶體結構和取向分析，但它可以結合EDS或WDS進行成分分析。

操作：將樣品置于SEM中，使用電子束掃描。

檢測和分析背散射電子花樣和X射線。

4. X射線熒光光譜（XRF）

原理：利用X射線激發樣品，使其發射二次X射線（熒光X射線）。這些熒光X射線的能量與樣品的元素組成有關。

用途：XRF可以定性和定量分析樣品中的元素，適用于從鈉（原子序數11）到鈾（原子序數92）的元素。

操作：SEM中結合XRF檢測器，進行元素分析。

SEM本身不能直接測量樣品成分，但通過結合EDS、WDS、EBSD或XRF等技術，可以進行樣品成分的定性和定量分析。這些技術使SEM不僅能夠提供樣品的高分辨成像，還可以提供豐富的成分信息，廣泛應用于材料科學、地質學、生物學等領域。

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