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掃描電鏡能測成份么

日期:2024-07-16

掃描電子顯微鏡(SEM)本身主要用于表面形貌的高分辨成像,但它可以結合其他分析技術來進行成分分析。具體來說,SEM常與以下技術結合使用來測量樣品成分:

1. 能量色散X射線光譜(EDS或EDX)

原理:當電子束轟擊樣品時,會激發樣品中的原子并發射出特征X射線。每種元素發射的特征X射線具有特定的能量,這些能量可以被檢測并用來確定樣品中的元素組成。

用途:EDS可以定性和定量分析樣品中的元素,通常用于檢測從硼(原子序數5)到鈾(原子序數92)之間的元素。

操作:將樣品放置在SEM中,并使用電子束掃描表面。

檢測和分析從樣品發射的特征X射線,得到元素組成信息。

2. 波長色散X射線光譜(WDS)

原理:類似于EDS,但使用晶體光譜儀分離和檢測特征X射線的波長,從而提供更高的能量分辨率和靈敏度。

用途:WDS用于更準確的元素分析,特別是對輕元素和相近元素的區分。

操作:在SEM中結合WDS檢測器,進行元素分析。

3. 電子背散射衍射(EBSD)

原理:電子束與樣品表面相互作用產生背散射電子,這些電子在晶體結構中衍射形成特征花樣。通過分析這些花樣,可以確定樣品的晶體結構、取向和相組成。

用途:雖然EBSD主要用于晶體結構和取向分析,但它可以結合EDS或WDS進行成分分析。

操作:將樣品置于SEM中,使用電子束掃描。

檢測和分析背散射電子花樣和X射線。

4. X射線熒光光譜(XRF)

原理:利用X射線激發樣品,使其發射二次X射線(熒光X射線)。這些熒光X射線的能量與樣品的元素組成有關。

用途:XRF可以定性和定量分析樣品中的元素,適用于從鈉(原子序數11)到鈾(原子序數92)的元素。

操作:SEM中結合XRF檢測器,進行元素分析。

SEM本身不能直接測量樣品成分,但通過結合EDS、WDS、EBSD或XRF等技術,可以進行樣品成分的定性和定量分析。這些技術使SEM不僅能夠提供樣品的高分辨成像,還可以提供豐富的成分信息,廣泛應用于材料科學、地質學、生物學等領域。

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作者:澤攸科技