通常情況下，掃描電鏡（SEM）的樣品表面電阻應(yīng)當(dāng)在 10^6 至 10^10 歐姆之間，才能確保良好的圖像質(zhì)量和性能。在這個(gè)范圍內(nèi)，樣品表面電阻足夠高以避免靜電積聚，并允許電子束與樣品表面有效地相互作用，而不會(huì)導(dǎo)致信號(hào)衰減或圖像模糊。

具體來(lái)說(shuō)，如果樣品的表面電阻超過(guò)了 10^10 歐姆，可能會(huì)導(dǎo)致電子束無(wú)法有效地與樣品相互作用，從而影響圖像質(zhì)量。相反，如果樣品的表面電阻低于 10^6 歐姆，可能會(huì)出現(xiàn)靜電積聚的問(wèn)題，導(dǎo)致圖像模糊或產(chǎn)生偽影。

因此，為了在SEM中獲得良好的圖像質(zhì)量，樣品的表面電阻應(yīng)在 10^6 至 10^10 歐姆之間。

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