掃描電鏡（SEM）對真空度要求非常高，這是因為在真空環境下，可以有效地避免電子束與氣體分子發生碰撞，從而保持電子束的穩定性和樣品的表面清晰度。典型的SEM工作室真空要求在10^-4至10^-7帕范圍內，這通常由機械泵和離子泵等真空系統來實現。

保持適當的真空度對SEM圖像的質量和分辨率至關重要。如果真空度不足，氣體分子將與電子束發生碰撞，導致散射和吸收，從而降低圖像的對比度和分辨率。此外，氣體分子也可能在樣品表面產生吸附層，影響樣品的表面形貌。

因此，維持良好的真空環境對于SEM的正常操作和獲得高質量的圖像至關重要。操作者在使用SEM時通常需要定期檢查和維護真空系統，以確保其正常運行并保持適當的真空度。

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