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掃描電鏡成像中常見的樣品損傷原因有哪些?

日期:2024-02-22

掃描電鏡成像中常見的樣品損傷原因有許多,其中一些主要原因包括:

電子束輻照損傷: 高能電子束在樣品表面與物質相互作用時會引起輻照損傷。這種損傷會導致樣品表面的化學成分變化、晶體結構的破壞和形貌的改變。

充電效應: 在掃描電鏡中,樣品表面可能會由于電子束的照射而帶電,這會產生靜電吸引力和排斥力,導致樣品表面的形貌變化和圖像失真。

樣品的熱損傷: 高能電子束的照射會引起樣品局部的加熱,導致樣品的結構和形貌發生變化,甚至引起樣品的熔化或氣化。

離子束損傷: 有時在掃描電鏡成像前會使用離子束清潔樣品表面或修飾樣品結構,如果離子束能量過高或時間過長,可能會導致樣品表面的損傷和形貌的改變。

樣品制備不當: 不適當的樣品制備可能導致樣品表面存在殘留物、氧化物、污染物等,這些物質可能會影響掃描電鏡成像并導致樣品損傷。

機械損傷: 樣品在制備、轉移或操作過程中可能受到機械損傷,如劃痕、碎裂等,這些損傷可能會影響樣品的形貌和成像效果。

為了避免樣品損傷,在掃描電鏡成像前應當注意樣品制備、操作技巧和儀器參數的選擇,以減小樣品與電子束的相互作用,保護樣品的完整性和形貌。

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作者:澤攸科技