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掃描電鏡如何避免樣品表面充電效應

日期:2024-01-18

掃描電鏡中的樣品表面充電效應是一個常見問題,但可以通過以下方法來減輕或避免:

導電涂層: 在樣品表面涂覆一層薄而均勻的導電涂層,如金屬(例如金、鉑)或碳。這有助于提供一個導電路徑,減輕表面充電效應。

樣品炭層: 對于非導電樣品,可以使用碳薄層來涂覆樣品表面。這有助于提高樣品的導電性,從而減輕充電效應。

金屬導電涂層: 對于特定的樣品,可以考慮在樣品表面蒸鍍一層薄的金屬導電膜。這可以改善電子導電性,減少表面充電。

低電子能量: 使用較低的電子能量進行掃描。較低的電子能量可以減少電子束與樣品相互作用,從而減輕表面充電效應。

真空環境: 在掃描電鏡操作期間維持適當的真空環境,以減少氣體分子對電子束和樣品的影響,有助于減輕表面充電效應。

中性氣體輔助: 有些掃描電鏡設備具有中性氣體輔助功能,通過注入中性氣體(如氮氣)來中和表面充電效應。

低電子通量: 使用較低的電子通量,即每單位時間內通過樣品的電子數量。這有助于減輕充電效應。

ZEM20臺式掃描電鏡

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作者:澤攸科技