掃描電鏡圖像的深度信息如何獲取?
日期:2024-01-03
掃描電鏡(SEM)是一種利用電子束來觀察樣品表面微觀結構的儀器。在SEM中獲取深度信息通常涉及以下幾種方法:
焦深度調整: SEM允許用戶調整焦深度,即所謂的“工作距離”或“對焦深度”。通過調整工作距離,可以改變在樣品表面上清晰可見的區(qū)域。然而,這種方法的調整范圍有限,而且可能影響圖像的分辨率。
斜視圖觀察: 通過傾斜樣品,可以從不同角度觀察樣品表面,從而獲取關于樣品三維結構的信息。這種方法可以通過SEM的樣品舞臺進行實現(xiàn)。
立體重建: 利用多個不同角度或焦平面的圖像,可以進行立體重建,以獲取樣品的三維形狀信息。這可能需要計算機輔助的圖像處理技術來生成深度信息。
透射電子顯微鏡: 雖然不是SEM,但TEM是另一種電子顯微鏡,它通過樣品而不是在其表面掃描。TEM可以提供樣品的截面圖像,因此可以獲取更多的深度信息。
聚焦離子束切割: 利用FIB技術,可以在SEM中使用離子束切割樣品表面,揭示其內部結構,從而獲取深度信息。
請注意,每種方法都有其優(yōu)缺點,并且選擇取決于研究的具體要求。深度信息的獲取可能需要結合多種技術和圖像處理方法。
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作者:澤攸科技
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