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掃描電鏡如何應(yīng)對(duì)非導(dǎo)電樣品的觀察

日期:2023-12-20

在掃描電鏡(SEM)中,觀察非導(dǎo)電樣品時(shí)會(huì)面臨電荷積聚、圖像漂移等問(wèn)題。為了解決這些問(wèn)題,可以采用一些特殊的樣品處理和技術(shù)手段。以下是一些常見(jiàn)的方法:

導(dǎo)電涂層:

對(duì)非導(dǎo)電樣品進(jìn)行導(dǎo)電涂層是一種常見(jiàn)的方法。通過(guò)在樣品表面涂覆薄導(dǎo)電層,如金屬或碳,可以提高樣品的導(dǎo)電性,減少電荷積聚。這有助于在掃描電鏡中獲得更清晰的圖像。

金屬蒸鍍:

利用金屬蒸鍍?cè)O(shè)備對(duì)樣品進(jìn)行金屬蒸鍍,形成薄導(dǎo)電金屬層。這種方法適用于小型樣品,如生物樣品、纖維等。金屬蒸鍍可以提供良好的導(dǎo)電性,同時(shí)保持樣品表面的形貌。

碳蒸鍍:

對(duì)樣品進(jìn)行碳蒸鍍是另一種增加導(dǎo)電性的方法。碳薄膜可以在樣品表面形成均勻的導(dǎo)電層,適用于一些對(duì)金屬靈敏的樣品。

樣品制備技術(shù):

優(yōu)化樣品的制備技術(shù),采用導(dǎo)電基底材料或?qū)щ娔z水將非導(dǎo)電樣品固定在導(dǎo)電基底上。這樣可以改善樣品的導(dǎo)電性,并減輕電荷積聚的影響。

低電壓成像:

降低掃描電鏡的電子束能量,采用較低的加速電壓。較低的電子束能量有助于減小電荷積聚的影響,但也可能降低分辨率。

防靜電裝置:

使用防靜電設(shè)備,如防靜電棒、離子風(fēng)機(jī)等,以減輕電荷積聚。這些設(shè)備可以在觀察過(guò)程中減小樣品表面的靜電電荷。

逐步掃描:

采用逐步掃描的方式進(jìn)行觀察,減少電荷的累積。這意味著在不同區(qū)域進(jìn)行逐步掃描,以減小電荷影響的積累。

ZEM20臺(tái)式掃描電鏡

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作者:澤攸科技