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掃描電鏡樣本的尺寸和形狀對(duì)參數(shù)設(shè)置的影響

日期:2023-11-01

掃描電鏡(SEM)中的樣本尺寸和形狀對(duì)參數(shù)設(shè)置和成像的影響是很重要的。不同大小和形狀的樣本可能需要不同的參數(shù)設(shè)置,以獲得高質(zhì)量的成像結(jié)果。以下是樣本尺寸和形狀對(duì)SEM參數(shù)設(shè)置的一些一般影響:

樣本大小:

小樣本:小樣本可能需要更高的放大倍數(shù)和更高的電子束電流,以獲得足夠的分辨率和信噪比。電子束的聚焦和定位可能需要更高的精度。

大樣本:大樣本可能需要較低的放大倍數(shù)和較低的電子束電流,以避免過(guò)度曝光和樣品燒傷。此外,大樣本可能需要更寬的深度和焦平面范圍。

樣本形狀:

凹凸不平的樣本:對(duì)于不平坦的樣本表面,需要更仔細(xì)的對(duì)焦和平面調(diào)整,以確保整個(gè)樣本表面都在焦點(diǎn)范圍內(nèi)。

復(fù)雜形狀的樣本:對(duì)于具有復(fù)雜形狀的樣本,可能需要多次成像,以獲取更全的信息。此外,可能需要不同的角度來(lái)觀察樣本的各個(gè)部分。

樣本導(dǎo)電性:

導(dǎo)電性差的樣本:對(duì)于導(dǎo)電性差的樣本,可能需要更高的電子束電流和更長(zhǎng)的掃描時(shí)間,以獲得足夠的信號(hào)。

導(dǎo)電性好的樣本:導(dǎo)電性好的樣本可以在較低的電子束電流下獲得清晰的成像,這有助于減少電子束對(duì)樣本的損傷。

樣本厚度:

厚樣本:對(duì)于較厚的樣本,可能需要更高的電子束電流,以克服樣本內(nèi)部的散射。此外,可能需要進(jìn)行透射電子顯微鏡(TEM)切片制備,以觀察樣本內(nèi)部的微觀結(jié)構(gòu)。

薄樣本:薄樣本通常對(duì)電子束非常敏感,可能需要較低的電子束電流和較短的掃描時(shí)間。

ZEM18臺(tái)式掃描電鏡

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作者:澤攸科技