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如何選擇和設置掃描電鏡的工作距離和對焦參數

日期:2023-10-24

選擇和設置掃描電鏡(SEM)的工作距離和對焦參數是非常重要的,因為它們直接影響成像質量和分辨率。下面是一些關于如何選擇和設置SEM的工作距離和對焦參數的建議:

1. 工作距離選擇:

SEM的工作距離是電子束從電子槍到樣品表面的距離。通常,您需要選擇一個合適的工作距離,以確保樣品清晰可見。

在選擇工作距離時,要考慮到樣品的性質。通常,您需要將工作距離設置得更短以獲得更好的分辨率。

較長的工作距離可用于觀察大型樣品,而較短的工作距離適用于小樣品或需要高分辨率的情況。

2. 對焦參數設置:

對焦是使圖像清晰的關鍵步驟。對焦參數通常包括電子束電壓、孔徑和工作距離。

電子束電壓:增加電子束電壓會提高電子束的穿透能力,但也可能減小分辨率。通常,您需要選擇適當的電子束電壓以實現樣品的對焦。

孔徑:孔徑是控制電子束的大小和形狀的參數。較小的孔徑通常用于高分辨率成像,而較大的孔徑用于提高樣品的信號。

工作距離:調整工作距離以獲得合適的對焦。根據樣品的形狀和性質,您可能需要逐漸改變工作距離,直到圖像清晰。

3. 自動對焦功能:

許多現代SEM系統都配備了自動對焦功能,它可以幫助您更容易地獲得清晰的圖像。這些系統使用內置的對焦算法來自動調整對焦參數。

4. 樣品準備和標本制備:

樣品的準備和制備也會影響對焦。確保樣品表面平整、潔凈,并具有所需的導電性。

5. 檢查圖像:

在進行詳細的成像之前,進行初步的檢查以確保對焦正確。您可以通過在不同的對焦參數下拍攝幾張圖像,然后選擇清晰的圖像。

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作者:澤攸科技