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掃描電鏡的探針電子束和樣品之間的工作距離如何控制?

日期:2023-07-06

在掃描電鏡(SEM)中,探針電子束與樣品之間的工作距離是非常關(guān)鍵的,它會(huì)直接影響到成像的清晰度和信號(hào)強(qiáng)度。以下是一些常見(jiàn)的方法和控制參數(shù),用于控制探針電子束和樣品之間的工作距離:

調(diào)整樣品臺(tái)高度:SEM通常配備有可以控制樣品臺(tái)高度的裝置。通過(guò)上升或下降樣品臺(tái),可以調(diào)整探針電子束與樣品之間的工作距離。調(diào)整樣品臺(tái)高度可以改變電子束的入射角度和聚焦效果。

工作距離調(diào)節(jié)器:一些SEM系統(tǒng)配備了工作距離調(diào)節(jié)器,它可以準(zhǔn)確控制探針電子束和樣品之間的距離。這種調(diào)節(jié)器通常由納米級(jí)的位置調(diào)節(jié)裝置組成,通過(guò)微小的移動(dòng)來(lái)實(shí)現(xiàn)工作距離的調(diào)整。

對(duì)焦:SEM通常具有對(duì)焦功能,可以調(diào)整探針電子束的聚焦效果。通過(guò)對(duì)焦功能,可以改變探針電子束的聚焦平面,從而影響到與樣品之間的工作距離。

檢查樣品和電子槍熱點(diǎn)位置:在進(jìn)行SEM操作之前,需要確保樣品的平整性和正確的安裝位置。同時(shí),還需要檢查電子槍熱點(diǎn)的位置,以確保電子束發(fā)射的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性。

電子束和樣品的對(duì)準(zhǔn):SEM通常具有對(duì)準(zhǔn)功能,可以將探針電子束準(zhǔn)確對(duì)準(zhǔn)到樣品的感興趣區(qū)域。通過(guò)對(duì)準(zhǔn)功能,可以使探針電子束與樣品之間的工作距離保持穩(wěn)定并準(zhǔn)確。

ZEM15臺(tái)式掃描電子顯微鏡

ZEM15臺(tái)式掃描電子顯微鏡

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作者:澤攸科技