SEM掃描電鏡是一種高分辨率的顯微鏡，它利用高能電子束與樣品表面相互作用，通過(guò)對(duì)樣品表面的電子信號(hào)進(jìn)行探測(cè)和分析，從而獲得樣品的形態(tài)、結(jié)構(gòu)和成分等信息。掃描電鏡的基本結(jié)構(gòu)主要包括以下幾個(gè)部分：

電子槍?zhuān)弘娮訕屖菕呙桦婄R的核心部分，主要由熱陰極、加速電極和聚焦磁場(chǎng)等組成。電子槍產(chǎn)生的電子束在加速電極的加速下，形成高能電子束，從而對(duì)樣品進(jìn)行掃描。

樣品臺(tái)：樣品臺(tái)是用于支撐樣品的平臺(tái)，通常由三維微調(diào)臺(tái)和旋轉(zhuǎn)臺(tái)組成。樣品需要放置在樣品臺(tái)上，并通過(guò)微調(diào)和旋轉(zhuǎn)來(lái)準(zhǔn)確定位和調(diào)整。

掃描線圈：掃描線圈是用于控制電子束掃描范圍和掃描速度的磁場(chǎng)系統(tǒng)。掃描線圈可以通過(guò)電磁鐵來(lái)調(diào)節(jié)磁場(chǎng)的強(qiáng)度和方向，從而控制電子束的掃描范圍和掃描速度。

檢測(cè)器：檢測(cè)器是用于探測(cè)樣品表面反射、散射和次級(jí)電子等信號(hào)的裝置，通常包括次級(jí)電子探測(cè)器、反射電子探測(cè)器和透射電子探測(cè)器等。不同的檢測(cè)器可以獲取不同類(lèi)型的信號(hào)，從而對(duì)樣品進(jìn)行不同方式的分析。

顯示器和計(jì)算機(jī)：掃描電鏡需要將采集到的信號(hào)進(jìn)行數(shù)字化處理，并將結(jié)果顯示在計(jì)算機(jī)上。計(jì)算機(jī)還可以對(duì)樣品進(jìn)行圖像處理和分析，從而提取出更多的信息。

ZEM15臺(tái)式掃描電鏡能譜一體機(jī)

以上是掃描電鏡的基本結(jié)構(gòu)，不同型號(hào)的掃描電鏡可能會(huì)有一些差異。但總體而言，掃描電鏡的結(jié)構(gòu)都是由電子槍、樣品臺(tái)、掃描線圈、檢測(cè)器和計(jì)算機(jī)等幾個(gè)主要部分組成的。

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