掃描電鏡（SEM）使用高能電子束與樣品相互作用，因此加速電壓是掃描電鏡中非常重要的參數之一。

加速電壓指的是電子束在掃描電鏡中加速的電壓。在SEM中，電子束從電子槍發射出來后，通過一系列的透鏡和偏轉器，被聚焦成一個小點，并在樣品表面掃描。掃描電子束與樣品相互作用，產生二次電子、反射電子、散射電子、X射線等不同的信號，這些信號被探測器接收并轉化為圖像。

加速電壓的作用包括：

影響電子束的能量和速度：加速電壓越高，電子束的能量和速度越大，電子束穿透樣品的深度也越深，從而影響圖像的分辨率和對樣品的破壞程度。

影響圖像的對比度：加速電壓對圖像的對比度有很大的影響。在低加速電壓下，電子束與樣品表面相互作用時，產生的二次電子信號相對強烈，從而提高圖像的對比度。

影響EDS分析結果：在EDS分析中，加速電壓對激發X射線的能量和強度有很大的影響，因此須根據樣品的性質和所需的分析結果來選擇合適的加速電壓。

因此，選擇合適的加速電壓是SEM中非常重要的一個參數，需要根據樣品的性質和所需的分析結果來確定。

臺式掃描電鏡能譜一體機

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