能譜儀（EDS , Energy Dispersive Spectrometer）是用來對材料微區成分進行分析，配合掃描電子顯微鏡與透射電子顯微鏡以及掃描透射電子顯微鏡使用的一種儀器。能譜儀誕生于20世紀70年代初，由于其結構簡單，使用方便，檢測速度快，與電鏡和其他附件配合可實現多種綜合分析，因此得到了廣泛應用。

掃描電鏡-能譜儀的幾種工作模式：

點分析

電子束固定在試樣感興趣的點上，進行定性或定量分析。該方法準確度高，用于顯微結構的成份分析，對低含量元素定量的試樣，只能用點分析。

線掃描

電子束沿一條分析線進行掃描時，能獲得元素含量變化的線分布曲線。結果和試樣形貌像對照分析能直觀地獲得元素在不同相或區域內的分布。

元素面分布（elemental mapping)

電子束在試樣表面掃描時，元素在試樣表面的分布能在屏幕上以亮度（或彩色）分布顯示出來，亮度越亮說明元素含量越高。研究材料中雜質、相的分布和元素偏析常用此方法。

ZEM15臺式掃描電鏡能譜一體機

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